VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cung cấp chuyên nghiệp tại Trung Quốc cho thuyền wafer silicon cacbua phủ SiC, với nhiều năm kinh nghiệm trong R&D và sản xuất, có thể kiểm soát chất lượng tốt và đưa ra mức giá cạnh tranh. Chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi và thảo luận thêm về hợp tác.
VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và nhà cung cấp của Trung Quốc, chủ yếu sản xuất Thuyền wafer silicon cacbua phủ SiC với nhiều năm kinh nghiệm. Hy vọng xây dựng mối quan hệ kinh doanh với bạn. Thuyền wafer silicon cacbua phủ SiC được sử dụng trong lò khuếch tán bán dẫn để mang các tấm wafer cho các quá trình nhiệt độ cao khác nhau như cấy ion, khuếch tán và ủ. Nó có thể cung cấp một môi trường ổn định cho các tấm bán dẫn, đảm bảo tính đồng nhất và nhất quán về nhiệt độ trong quá trình xử lý.
Thuyền wafer silicon cacbua phủ SiC có khả năng chịu nhiệt và ổn định hóa học cao hơn, cho phép chúng hoạt động ở nhiệt độ cao hơn và mang lại tuổi thọ dài hơn. Ngoài ra, chúng có tốc độ bay hơi vật liệu và tốc độ hấp phụ khí thấp hơn, giúp giảm tác động của tạp chất trong quá trình xử lý tấm bán dẫn.
Chúng tôi có thể sản xuất các loại thuyền wafer silicon cacbua khác nhau như thuyền wafer ngang, thuyền wafer dọc và bất kỳ thuyền tùy chỉnh nào khác.
1. Ổn định nhiệt độ cao
2. Tính trơ hóa học
3. Hàm lượng tạp chất thấp
4. Độ dẫn nhiệt
Tính chất vật lý của cacbua silic kết tinh | |
Tài sản | Giá trị điển hình |
Nhiệt độ làm việc (° C) | 1600°C (có oxy), 1700°C (môi trường khử) |
Nội dung SiC | > 99,96% |
Nội dung Si miễn phí | < 0,1% |
Mật độ lớn | 2,60-2,70 g/cm3 |
Độ rỗng rõ ràng | < 16% |
Cường độ nén | > 600 MPa |
Độ bền uốn nguội | 80-90 MPa (20°C) |
Độ bền uốn nóng | 90-100 MPa (1400°C) |
Giãn nở nhiệt @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Độ dẫn nhiệt @1200°C | 23 W/m·K |
Mô đun đàn hồi | 240 GPa |
Nhiệt kháng sốc | Cực kỳ tốt |