Cacbua Tantalum xốp: Thế hệ vật liệu mới cho sự phát triển tinh thể SiC

Với việc sản xuất hàng loạt dần dần các chất nền SiC dẫn điện, các yêu cầu cao hơn được đặt ra về độ ổn định và độ lặp lại của quy trình. Đặc biệt, việc kiểm soát các khuyết tật, điều chỉnh nhẹ hoặc sự trôi dạt trong trường nhiệt trong lò sẽ dẫn đến sự thay đổi trong tinh thể hoặc làm tăng các khuyết tật.

Ở giai đoạn sau, chúng ta sẽ phải đối mặt với thách thức “phát triển nhanh hơn, dày hơn và dài hơn”. Ngoài việc cải tiến lý thuyết và kỹ thuật, cần có các vật liệu trường nhiệt tiên tiến hơn để hỗ trợ. Sử dụng vật liệu tiên tiến để phát triển các tinh thể tiên tiến.

Việc sử dụng không đúng cách các vật liệu như than chì, than chì xốp và bột cacbua tantalum trong nồi nấu kim loại trong trường nhiệt sẽ dẫn đến các khuyết tật như tăng lượng tạp chất cacbon. Ngoài ra, trong một số ứng dụng, độ thấm của than chì xốp là không đủ và cần phải mở thêm các lỗ để tăng tính thấm. Than chì xốp có độ thấm cao phải đối mặt với những thách thức như xử lý, mất bột và ăn mòn.

Gần đây, VeTek Semiconductor đã cho ra mắt thế hệ vật liệu trường nhiệt tăng trưởng tinh thể SiC mới,cacbua tantalum xốp, lần đầu tiên trên thế giới.

Tantalum cacbua có độ bền và độ cứng cao, việc làm cho nó trở nên xốp thậm chí còn khó khăn hơn. Việc tạo ra cacbua tantalum xốp có độ xốp lớn và độ tinh khiết cao thậm chí còn khó khăn hơn. VeTek Semiconductor đã tung ra loại cacbua tantalum xốp mang tính đột phá với độ xốp lớn,với độ xốp tối đa 75%, đạt đẳng cấp quốc tế.

Ngoài ra, nó có thể được sử dụng để lọc thành phần pha khí, điều chỉnh độ dốc nhiệt độ cục bộ, hướng dòng vật liệu, kiểm soát rò rỉ, v.v.; nó có thể được kết hợp với lớp phủ cacbua tantalum rắn (đặc) hoặc cacbua tantalum khác của Chất bán dẫn VeTek để tạo thành các thành phần có độ dẫn dòng cục bộ khác nhau; một số thành phần có thể được tái sử dụng.

Thông số kỹ thuật

Độ xốp 75% hàng đầu quốc tế

Hình dạng: vảy, hình trụ hàng đầu quốc tế

Độ xốp đồng đều

Chất bán dẫn VeTek xốp Tantalum cacbua (TaC) có các tính năng sản phẩm sau

●   Độ xốp cho các ứng dụng đa năng

Cấu trúc xốp của TaC cung cấp nhiều chức năng, cho phép sử dụng nó trong các tình huống chuyên biệt như:

Khuếch tán khí: Tạo điều kiện kiểm soát lưu lượng khí chính xác trong quy trình bán dẫn.

Lọc: Lý tưởng cho các môi trường yêu cầu tách hạt hiệu suất cao.

Tản nhiệt có kiểm soát: Quản lý nhiệt hiệu quả trong các hệ thống nhiệt độ cao, tăng cường khả năng điều chỉnh nhiệt tổng thể.

●   Khả năng chịu nhiệt độ cực cao

Với điểm nóng chảy khoảng 3.880°C, Tantalum Carbide vượt trội trong các ứng dụng nhiệt độ cực cao. Khả năng chịu nhiệt đặc biệt này đảm bảo hiệu suất ổn định trong điều kiện mà hầu hết các vật liệu đều bị hỏng.

●   Độ cứng và độ bền vượt trội

Xếp hạng 9-10 trên thang độ cứng Mohs, tương tự như kim cương, Porous TaC thể hiện khả năng chống mài mòn cơ học vô song, ngay cả khi chịu áp lực cực độ. Độ bền này khiến nó trở nên lý tưởng cho các ứng dụng tiếp xúc với môi trường mài mòn.

●   Độ ổn định nhiệt vượt trội

Tantalum Carbide vẫn giữ được tính toàn vẹn về cấu trúc và hiệu suất ở nhiệt độ cực cao. Độ ổn định nhiệt vượt trội của nó đảm bảo hoạt động đáng tin cậy trong các ngành đòi hỏi tính nhất quán ở nhiệt độ cao, chẳng hạn như sản xuất chất bán dẫn và hàng không vũ trụ.

●   Độ dẫn nhiệt tuyệt vời

Mặc dù có bản chất xốp, nhưng TaC xốp vẫn duy trì khả năng truyền nhiệt hiệu quả, cho phép sử dụng nó trong các hệ thống yêu cầu tản nhiệt nhanh. Tính năng này nâng cao khả năng ứng dụng của vật liệu trong các quy trình sử dụng nhiều nhiệt.

●   Độ giãn nở nhiệt thấp để ổn định kích thước

Với hệ số giãn nở nhiệt thấp, Tantalum Carbide chống lại sự thay đổi kích thước do biến động nhiệt độ. Đặc tính này giảm thiểu ứng suất nhiệt, kéo dài tuổi thọ của các bộ phận và duy trì độ chính xác trong các hệ thống quan trọng.

Trong sản xuất chất bán dẫn, cacbua Tantalum xốp (TaC) đóng các vai trò quan trọng cụ thể sau đây

●  Trong các quy trình nhiệt độ cao như khắc plasma và CVD, cacbua Tantalum xốp bán dẫn VeTek thường được sử dụng làm lớp phủ bảo vệ cho thiết bị xử lý. Điều này là do khả năng chống ăn mòn mạnh mẽ của Lớp phủ TaC và độ ổn định ở nhiệt độ cao. Những đặc tính này đảm bảo rằng nó bảo vệ hiệu quả các bề mặt tiếp xúc với khí phản ứng hoặc nhiệt độ khắc nghiệt, từ đó đảm bảo phản ứng bình thường của các quá trình nhiệt độ cao.

●  Trong các quá trình khuếch tán, cacbua Tantalum xốp có thể đóng vai trò như một rào cản khuếch tán hiệu quả để ngăn chặn sự trộn lẫn của các vật liệu trong các quy trình nhiệt độ cao. Tính năng này thường được sử dụng để kiểm soát sự khuếch tán của chất dẫn xuất trong các quá trình như cấy ion và kiểm soát độ tinh khiết của tấm bán dẫn.

●  Cấu trúc xốp của cacbua Tantalum xốp bán dẫn VeTek rất phù hợp với môi trường xử lý chất bán dẫn yêu cầu lọc hoặc kiểm soát dòng khí chính xác. Trong quá trình này, xốp TaC chủ yếu đóng vai trò lọc và phân phối khí. Tính trơ hóa học của nó đảm bảo rằng không có chất gây ô nhiễm nào được đưa vào trong quá trình lọc. Điều này đảm bảo hiệu quả độ tinh khiết của sản phẩm được chế biến.

Giới thiệu về Chất bán dẫn VeTek

Là nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy sản xuất cacbua tantali xốp chuyên nghiệp của Trung Quốc, chúng tôi có nhà máy riêng. Cho dù bạn cần các dịch vụ tùy chỉnh để đáp ứng nhu cầu cụ thể của khu vực của bạn hay muốn mua Cacbua Tantalum xốp tiên tiến và bền bỉ được sản xuất tại Trung Quốc, bạn có thể để lại tin nhắn cho chúng tôi.

Nếu bạn có bất kỳ thắc mắc hoặc cần thêm chi tiết vềCacbua tantali xốp、Tantalum cacbua phủ than chì xốpvà khácCác thành phần phủ Tantalum Carbide, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi.

☏☏☏Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

☏☏☏Email: anny@veteksemi.com