VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cải tiến Đầu vòi hoa sen SiC hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về vật liệu SiC trong nhiều năm. Đầu vòi hoa sen SiC được chọn làm vật liệu vòng lấy nét do tính ổn định nhiệt hóa tuyệt vời, độ bền cơ học cao và khả năng chống xói mòn plasma .Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Bạn có thể yên tâm mua Đầu vòi hoa sen SiC từ nhà máy của chúng tôi.
Vật liệu cacbua silic có sự kết hợp độc đáo giữa các đặc tính nhiệt, điện và hóa học tuyệt vời, khiến chúng trở nên lý tưởng cho các ứng dụng trong ngành bán dẫn, nơi yêu cầu vật liệu hiệu suất cao.
Công nghệ mang tính cách mạng của VeTek Semiconductor cho phép sản xuất Đầu vòi hoa sen SiC, một vật liệu cacbua silic có độ tinh khiết cực cao được tạo ra thông qua quá trình lắng đọng hơi hóa học.
Đầu vòi hoa sen SiC là một thành phần quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, được thiết kế đặc biệt cho các hệ thống MOCVD, quy trình epit Wax silicon và SiC. Được làm từ cacbua silic rắn (SiC) bền chắc, thành phần này có thể chịu được các điều kiện khắc nghiệt của quá trình xử lý plasma và các ứng dụng nhiệt độ cao.
Cacbua silic (SiC) được biết đến với tính dẫn nhiệt cao, khả năng chống ăn mòn hóa học và độ bền cơ học vượt trội, khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng cho các bộ phận SiC số lượng lớn như Đầu vòi hoa sen SiC. Đầu vòi hoa sen khí đảm bảo phân phối đều khí xử lý trên bề mặt wafer, điều này rất cần thiết để tạo ra các lớp epiticular chất lượng cao. Vòng lấy nét và vòng cạnh, thường được làm từ CVD-SiC, duy trì sự phân bố huyết tương đồng đều và bảo vệ buồng khỏi bị nhiễm bẩn, nâng cao hiệu quả và năng suất tăng trưởng epiticular.
Với khả năng kiểm soát lưu lượng khí chính xác và đặc tính vật liệu vượt trội, Đầu vòi hoa sen SiC là thành phần chính trong xử lý chất bán dẫn hiện đại, hỗ trợ các ứng dụng tiên tiến trong epit Wax silicon và epit Wax SiC.
VeTek Semiconductor cung cấp đầu vòi hoa sen bán dẫn cacbua silic thiêu kết có điện trở suất thấp. Chúng tôi có khả năng tùy chỉnh kỹ sư và cung cấp vật liệu gốm sứ tiên tiến sử dụng nhiều khả năng độc đáo.
Tính chất vật lý của SiC rắn | |||
Tỉ trọng | 3.21 | g/cm3 | |
Điện trở suất | 102 | Ω/cm | |
Độ bền uốn | 590 | MPa | (6000kgf/cm2) |
Mô đun Young | 450 | GPa | (6000kgf/mm2) |
Độ cứng Vickers | 26 | GPa | (2650kgf/mm2) |
CTE (RT-1000oC) | 4.0 | x10-6/K | |
Độ dẫn nhiệt (RT) | 250 | W/mK |