VeTek Semiconductor chuyên sản xuất các sản phẩm Lớp phủ silicon cacbua siêu tinh khiết, các lớp phủ này được thiết kế để ứng dụng cho các thành phần than chì, gốm sứ và kim loại chịu lửa tinh khiết.
Lớp phủ có độ tinh khiết cao của chúng tôi chủ yếu được nhắm mục tiêu sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn và điện tử. Chúng đóng vai trò như một lớp bảo vệ cho các chất mang bán dẫn, chất nhạy cảm và bộ phận làm nóng, bảo vệ chúng khỏi môi trường ăn mòn và phản ứng gặp phải trong các quy trình như MOCVD và EPI. Các quy trình này là không thể thiếu trong quá trình xử lý wafer và sản xuất thiết bị. Ngoài ra, lớp phủ của chúng tôi rất phù hợp cho các ứng dụng trong lò chân không và gia nhiệt mẫu, nơi gặp phải môi trường chân không, phản ứng và oxy cao.
Tại VeTek Semiconductor, chúng tôi cung cấp giải pháp toàn diện với năng lực xưởng máy tiên tiến của mình. Điều này cho phép chúng tôi sản xuất các bộ phận cơ bản bằng cách sử dụng than chì, gốm sứ hoặc kim loại chịu lửa và áp dụng lớp phủ gốm SiC hoặc TaC ngay trong nhà. Chúng tôi cũng cung cấp dịch vụ phủ cho các bộ phận do khách hàng cung cấp, đảm bảo tính linh hoạt để đáp ứng nhu cầu đa dạng.
Các sản phẩm Lớp phủ silicon cacbua của chúng tôi được sử dụng rộng rãi trong epit Wax Si, epit Wax SiC, hệ thống MOCVD, quy trình RTP/RTA, quy trình khắc axit, quy trình khắc ICP/PSS, quy trình xử lý các loại đèn LED khác nhau, bao gồm đèn LED xanh lam và xanh lục, đèn LED UV và tia cực tím sâu LED, v.v., được điều chỉnh phù hợp với các thiết bị từ LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, v.v.
Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC | |
Tài sản | Giá trị điển hình |
Cấu trúc tinh thể | FCC đa tinh thể pha β, chủ yếu định hướng (111) |
Tỉ trọng | 3,21 g/cm³ |
độ cứng | Độ cứng 2500 Vickers (tải 500g) |
kích thước hạt | 2 ~ 10μm |
Độ tinh khiết hóa học | 99,99995% |
Công suất nhiệt | 640 J·kg-1·K-1 |
Nhiệt độ thăng hoa | 2700oC |
Độ bền uốn | 415 MPa RT 4 điểm |
Mô đun của Young | Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC |
Độ dẫn nhiệt | 300W·m-1·K-1 |
Mở rộng nhiệt (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Giá đỡ thùng wafer phủ CVD SiC là thành phần chính của lò tăng trưởng epiticular, được sử dụng rộng rãi trong lò tăng trưởng epiticular MOCVD. VeTek Semiconductor cung cấp cho bạn các sản phẩm có tính tùy biến cao. Bất kể nhu cầu của bạn là gì đối với giá đỡ thùng wafer phủ CVD SiC, Chào mừng bạn đến tham khảo ý kiến của chúng tôi.
Đọc thêmGửi yêu cầuChất nhạy cảm thùng phủ CVD SiC của VeTek Semiconductor là thành phần cốt lõi của lò epiticular loại thùng. Với sự trợ giúp của chất nhạy cảm thùng phủ CVD SiC, số lượng và chất lượng tăng trưởng epiticular được cải thiện đáng kể. VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cung cấp SiC Coated chuyên nghiệp Barrel Susceptor, và đang ở đẳng cấp hàng đầu tại Trung Quốc và thậm chí trên thế giới. VeTek Semiconductor mong muốn thiết lập mối quan hệ hợp tác chặt chẽ với bạn trong ngành bán dẫn.
Đọc thêmGửi yêu cầuChất bán dẫn VeTek CVD SiC phủ wafer Chất nhạy cảm Epi là thành phần không thể thiếu cho sự phát triển epit Wax SiC, mang lại khả năng quản lý nhiệt vượt trội, kháng hóa chất và ổn định kích thước. Bằng cách chọn chất nhạy cảm Epi tấm phủ CVD SiC của VeTek Semiconductor, bạn sẽ nâng cao hiệu suất của các quy trình MOCVD, mang lại sản phẩm chất lượng cao hơn và hiệu quả cao hơn trong hoạt động sản xuất chất bán dẫn của bạn. Chào mừng các yêu cầu thêm của bạn.
Đọc thêmGửi yêu cầuChất nhạy cảm than chì phủ CVD SiC của VeTek Semiconductor là một trong những thành phần quan trọng trong ngành bán dẫn như tăng trưởng epiticular và xử lý wafer. Nó được sử dụng trong MOCVD và các thiết bị khác để hỗ trợ xử lý và xử lý các tấm bán dẫn và các vật liệu có độ chính xác cao khác. VeTek Semiconductor có khả năng sản xuất và sản xuất chất nhạy cảm than chì phủ SiC và chất cảm ứng than chì phủ TaC hàng đầu của Trung Quốc, và rất mong nhận được sự tư vấn của bạn.
Đọc thêmGửi yêu cầuBộ phận làm nóng lớp phủ CVD SiC đóng vai trò cốt lõi trong việc làm nóng vật liệu trong lò PVD (Lắng đọng bay hơi). VeTek Semiconductor là nhà sản xuất Bộ phận làm nóng được phủ CVD SiC hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi có khả năng phủ CVD tiên tiến và có thể cung cấp cho bạn các sản phẩm phủ CVD SiC tùy chỉnh. VeTek Semiconductor mong muốn trở thành đối tác của bạn trong lĩnh vực Bộ phận làm nóng được phủ SiC.
Đọc thêmGửi yêu cầuChất nhạy cảm quay bằng than chì có độ tinh khiết cao đóng vai trò quan trọng trong sự phát triển epiticular của gali nitrit (quy trình MOCVD). VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cung cấp cảm biến quay bằng than chì hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi đã phát triển nhiều sản phẩm than chì có độ tinh khiết cao dựa trên vật liệu than chì có độ tinh khiết cao, đáp ứng đầy đủ các yêu cầu của ngành bán dẫn. VeTek Semiconductor mong muốn trở thành đối tác của bạn trong lĩnh vực chất nhạy cảm than chì quay.
Đọc thêmGửi yêu cầu