Chất nhạy cảm ủ nhiệt nhanh

Chất cảm ứng ủ nhiệt nhanh chóng của chất bán dẫn VeTek có chất lượng cao và tuổi thọ cao, vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Ủ nhiệt nhanh (RTA) là một tập hợp con quan trọng của Xử lý nhiệt nhanh được sử dụng trong chế tạo thiết bị bán dẫn. Nó liên quan đến việc đốt nóng từng tấm bán dẫn để thay đổi đặc tính điện của chúng thông qua các phương pháp xử lý nhiệt có mục tiêu khác nhau. Quy trình RTA cho phép kích hoạt các chất dẫn xuất, thay đổi bề mặt tiếp xúc giữa màng với màng hoặc màng với tấm wafer, làm đậm đặc các màng lắng đọng, sửa đổi trạng thái màng phát triển, sửa chữa hư hỏng do cấy ion, chuyển động của chất pha tạp và điều khiển chất pha tạp giữa các màng. hoặc vào chất nền wafer.

Sản phẩm bán dẫn VeTek, Chất nhạy cảm ủ nhiệt nhanh, đóng một vai trò quan trọng trong quy trình RTP. Nó được chế tạo bằng vật liệu than chì có độ tinh khiết cao với lớp phủ bảo vệ bằng cacbua silic trơ (SiC). Chất nền silicon được phủ SiC có thể chịu được nhiệt độ lên tới 1100°C, đảm bảo hiệu suất đáng tin cậy ngay cả trong điều kiện khắc nghiệt. Lớp phủ SiC mang đến khả năng bảo vệ tuyệt vời chống rò rỉ khí và bong tróc hạt, đảm bảo tuổi thọ của sản phẩm.

Để duy trì khả năng kiểm soát nhiệt độ chính xác, con chip được bọc giữa hai thành phần than chì có độ tinh khiết cao được phủ SiC. Các phép đo nhiệt độ chính xác có thể thu được thông qua các cảm biến nhiệt độ cao tích hợp hoặc cặp nhiệt điện tiếp xúc với chất nền.

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC:

Xưởng sản xuất chất bán dẫn VeTek

Tổng quan về chuỗi công nghiệp epitaxy chip bán dẫn: