Tại VeTek Semiconductor, chúng tôi chuyên nghiên cứu, phát triển và công nghiệp hóa lớp phủ CVD SiC và lớp phủ CVD TaC. Một sản phẩm điển hình là Phân đoạn lớp phủ SiC bên trong, trải qua quá trình xử lý rộng rãi để đạt được bề mặt SiC CVD được phủ dày đặc và có độ chính xác cao. Lớp phủ này thể hiện khả năng chống chịu đặc biệt với nhiệt độ cao và mang lại khả năng chống ăn mòn mạnh mẽ. Hãy liên hệ với chúng tôi nếu có bất kỳ thắc mắc nào.
Phân đoạn vỏ phủ SiC chất lượng cao bên trong được cung cấp bởi nhà sản xuất VeTek Semicondutor của Trung Quốc. Mua trực tiếp Phân đoạn vỏ phủ SiC (Bên trong) có chất lượng cao với giá thấp.
Các sản phẩm Phân đoạn vỏ phủ SiC bán dẫn VeTek (Bên trong) là những thành phần thiết yếu được sử dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn tiên tiến cho hệ thống Aixtron MOCVD.
Dưới đây là mô tả tích hợp nêu bật ứng dụng và ưu điểm của sản phẩm:
Phân đoạn vỏ phủ SiC hoàn chỉnh 14x4 inch (Bên trong) của chúng tôi mang lại các lợi ích và tình huống ứng dụng sau khi được sử dụng trong thiết bị Aixtron:
Perfect Fit: Các phân đoạn vỏ này được thiết kế và sản xuất chính xác để vừa khít với thiết bị Aixtron, đảm bảo hiệu suất ổn định và đáng tin cậy.
Vật liệu có độ tinh khiết cao: Các phần vỏ được làm từ vật liệu có độ tinh khiết cao để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về độ tinh khiết của quy trình sản xuất chất bán dẫn.
Khả năng chịu nhiệt độ cao: Các phần vỏ có khả năng chịu nhiệt độ cao tuyệt vời, duy trì sự ổn định mà không bị biến dạng hoặc hư hỏng trong điều kiện xử lý nhiệt độ cao.
Độ trơ hóa học vượt trội: Với độ trơ hóa học đặc biệt, các đoạn vỏ này chống lại sự ăn mòn và oxy hóa hóa học, cung cấp lớp bảo vệ đáng tin cậy, đồng thời kéo dài hiệu suất và tuổi thọ của chúng.
Bề mặt phẳng và gia công chính xác: Các phần vỏ có bề mặt nhẵn và đồng đều, đạt được thông qua gia công chính xác. Điều này đảm bảo khả năng tương thích tuyệt vời với các thành phần khác trong thiết bị Aixtron và mang lại hiệu suất xử lý tối ưu.
Bằng cách kết hợp các Phân đoạn vỏ bên trong hoàn chỉnh 14x4 inch của chúng tôi vào thiết bị Aixtron, có thể đạt được quy trình tăng trưởng màng mỏng bán dẫn chất lượng cao. Những phân đoạn che phủ này đóng một vai trò quan trọng trong việc cung cấp nền tảng ổn định và đáng tin cậy cho sự phát triển màng mỏng.
Chúng tôi cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng cao tích hợp liền mạch với thiết bị Aixtron. Cho dù đó là tối ưu hóa quy trình hay phát triển sản phẩm mới, chúng tôi luôn sẵn sàng cung cấp hỗ trợ kỹ thuật và giải quyết mọi thắc mắc mà bạn có thể có.
Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC | |
Tài sản | Giá trị điển hình |
Cấu trúc tinh thể | FCC đa tinh thể pha β, chủ yếu định hướng (111) |
Tỉ trọng | 3,21 g/cm³ |
độ cứng | Độ cứng 2500 Vickers (tải 500g) |
Kích thước hạt | 2 ~ 10μm |
Độ tinh khiết hóa học | 99,99995% |
Nhiệt dung | 640 J·kg-1·K-1 |
Nhiệt độ thăng hoa | 2700oC |
Độ bền uốn | 415 MPa RT 4 điểm |
Mô-đun của Young | Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC |
Dẫn nhiệt | 300W·m-1·K-1 |
Mở rộng nhiệt (CTE) | 4,5×10-6K-1 |