Vòng hỗ trợ tráng SiC

Chất bán dẫn VeTek, nhà sản xuất và nhà cung cấp hàng đầu có trụ sở tại Trung Quốc, chuyên sản xuất nhiều loại sản phẩm bao gồmVòng hỗ trợ được phủ SiC, Lớp phủ cacbua silic CVD, lớp phủ cacbua tantalum, SiC số lượng lớn, bột SiC và vật liệu SiC có độ tinh khiết cao. Sự cống hiến của chúng tôi nằm ở việc cung cấp hỗ trợ kỹ thuật toàn diện và giải pháp sản phẩm tối ưu phù hợp với lĩnh vực bán dẫn. Hãy liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông tin và hỗ trợ.

Chất bán dẫn VeTek'SVòng hỗ trợ được phủ SiClà một thế hệ mới của vật liệu chịu nhiệt độ cao. Là lớp phủ chống ăn mòn, lớp phủ chống oxy hóa và lớp phủ chống mài mòn, chúng có thể được sử dụng trong môi trường có nhiệt độ trên 1650oC và được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực bán dẫn.

Những đặc tính chất lượng cao củaVòng hỗ trợ được phủ SiCđóng một vai trò rất quan trọng trong sự tăng trưởng epiticular của các thành phần bán dẫn thế hệ thứ ba.

Duy trì sự đồng đều nhiệt độ: Các vòng đỡ được phủ SiC có tính dẫn nhiệt tuyệt vời và có thể phân bổ nhiệt độ đồng đều trong quá trình tăng trưởng epiticular. Điều này giúp giảm độ dốc nhiệt và ứng suất trên bề mặt wafer, từ đó cải thiện chất lượng của lớp epiticular.

Độ ổn định hóa học cực cao: Trong quá trình tăng trưởng epiticular,Vòng hỗ trợ được phủ SiCcó thể chống lại sự tấn công hóa học từ khí phản ứng, kéo dài tuổi thọ của các vòng đỡ và duy trì tính toàn vẹn của quy trình. Tính ổn định hóa học này giúp giảm nguy cơ ô nhiễm và cải thiện độ tinh khiết cũng như hiệu suất của các thiết bị bán dẫn.

Định vị chính xác: Các vòng đỡ được phủ SiC có thể duy trì vị trí chính xác của tấm bán dẫn, điều này rất quan trọng để đạt được sự lắng đọng lớp đồng nhất. Việc định vị chính xác này giúp đảm bảo tính đồng nhất về độ dày và chất lượng của lớp epitaxy.

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC:

Xưởng sản xuất chất bán dẫn VeTek:

Tổng quan về chuỗi công nghiệp epitaxy chip bán dẫn: