Chất nhạy cảm than chì phủ SiC cho MOCVD

VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cung cấp Chất nhạy cảm than chì phủ SiC cho MOCVD hàng đầu tại Trung Quốc, chuyên về các ứng dụng lớp phủ SiC và các sản phẩm bán dẫn epiticular cho ngành bán dẫn. Các chất nhạy cảm than chì được phủ MOCVD SiC của chúng tôi cung cấp chất lượng và giá cả cạnh tranh, phục vụ các thị trường trên khắp Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi cam kết trở thành đối tác lâu dài, đáng tin cậy của bạn trong việc thúc đẩy sản xuất chất bán dẫn.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Chất nhạy cảm than chì phủ SiC của VeTek Semiconductor dành cho MOCVD là chất mang than chì được phủ SiC có độ tinh khiết cao, được thiết kế đặc biệt để phát triển lớp epiticular trên chip wafer. Là thành phần trung tâm trong quá trình xử lý MOCVD, thường có hình dạng bánh răng hoặc vòng, nó có khả năng chịu nhiệt và chống ăn mòn đặc biệt, đảm bảo sự ổn định trong môi trường khắc nghiệt.

Các tính năng chính của Chất nhạy cảm than chì phủ MOCVD SiC:

● Lớp phủ chống bong tróc: Đảm bảo lớp phủ SiC đồng đều trên tất cả các bề mặt, giảm nguy cơ bong tróc hạt

● Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao tuyệt vờice: Vẫn ổn định ở nhiệt độ lên tới 1600°C

● Độ tinh khiết cao: Được sản xuất thông qua quá trình lắng đọng hơi hóa học CVD, thích hợp với điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao

● Khả năng chống ăn mòn vượt trội: Có khả năng kháng axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ cao

● Mẫu luồng khí tầng được tối ưu hóa: Tăng cường tính đồng nhất của động lực luồng không khí

● Phân phối nhiệt đồng đều: Đảm bảo phân phối nhiệt ổn định trong quá trình xử lý nhiệt độ cao

● Ngăn ngừa ô nhiễm: Ngăn chặn sự khuếch tán của chất gây ô nhiễm hoặc tạp chất, đảm bảo độ sạch của tấm bán dẫn

Tại VeTek Semiconductor, chúng tôi tuân thủ các tiêu chuẩn chất lượng nghiêm ngặt, cung cấp các sản phẩm và dịch vụ đáng tin cậy cho khách hàng. Chúng tôi chỉ chọn những vật liệu cao cấp, cố gắng đáp ứng và vượt qua các yêu cầu về hiệu suất của ngành. Chất nhạy cảm bằng than chì phủ SiC dành cho MOCVD của chúng tôi minh họa cho cam kết về chất lượng này. Hãy liên hệ với chúng tôi để tìm hiểu thêm về cách chúng tôi có thể hỗ trợ nhu cầu xử lý tấm bán dẫn của bạn.

CẤU TRÚC TINH THỂ PHIM CVD SIC:

SEM DATA OF CVD SIC FILM

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC:

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC
Tài sản	Giá trị điển hình
Cấu trúc tinh thể	FCC đa tinh thể pha β, chủ yếu định hướng (111)
Tỉ trọng	3,21 g/cm³
độ cứng	Độ cứng 2500 Vickers (tải 500g)
Kích thước hạt	2 ~ 10μm
Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
Công suất nhiệt	640 J·kg^-1·K^-1
Nhiệt độ thăng hoa	2700oC
Độ bền uốn	415 MPa RT 4 điểm
Mô đun của Young	Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC
Độ dẫn nhiệt	300W·m^-1·K^-1
Mở rộng nhiệt (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Chất bán dẫn VeTek MOCVD Thụ thể than chì phủ SiC:

VeTekSemi MOCVD SiC Coated Graphite Susceptor

Thẻ nóng: Chất nhạy cảm than chì phủ SiC cho MOCVD, Trung Quốc, Nhà sản xuất, Nhà cung cấp, Nhà máy, Tùy chỉnh, Mua, Nâng cao, Bền, Sản xuất tại Trung Quốc

Thẻ sản phẩm

Danh mục liên quan