Bộ cảm biến LED UV sâu được phủ SiC

Chất nhạy cảm LED UV sâu được phủ SiC được thiết kế cho quy trình MOCVD để hỗ trợ sự phát triển lớp epiticular LED UV sâu hiệu quả và ổn định. VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cung cấp hàng đầu về thiết bị cảm ứng LED UV sâu được phủ SiC tại Trung Quốc. Chúng tôi có kinh nghiệm phong phú và đã thiết lập mối quan hệ hợp tác lâu dài với nhiều nhà sản xuất đèn LED epiticular. Chúng tôi là nhà sản xuất nội địa hàng đầu về các sản phẩm cảm biến cho đèn LED. Sau nhiều năm xác minh, tuổi thọ sản phẩm của chúng tôi ngang bằng với các nhà sản xuất quốc tế hàng đầu. Mong nhận được yêu cầu của bạn.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Bộ phận cảm ứng LED UV sâu được phủ SiC là thành phần chịu lực lõi trongThiết bị MOCVD (lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại). Chất nhạy cảm ảnh hưởng trực tiếp đến tính đồng nhất, kiểm soát độ dày và chất lượng vật liệu của sự phát triển epiticular LED UV sâu, đặc biệt là trong sự phát triển của lớp epiticular nhôm nitride (AlN) có hàm lượng nhôm cao, thiết kế và hiệu suất của chất nhạy cảm là rất quan trọng.

Chất nhạy cảm LED UV sâu được phủ SiC được tối ưu hóa đặc biệt cho epitaxy LED UV sâu và được thiết kế chính xác dựa trên các đặc tính môi trường nhiệt, cơ học và hóa học để đáp ứng các yêu cầu quy trình nghiêm ngặt.

Chất bán dẫn VeTeksử dụng công nghệ xử lý tiên tiến để đảm bảo sự phân bổ nhiệt đồng đều của chất nhạy cảm trong phạm vi nhiệt độ hoạt động, tránh sự phát triển không đồng đều của lớp epiticular do độ dốc nhiệt độ. Quá trình xử lý chính xác kiểm soát độ nhám bề mặt, giảm thiểu ô nhiễm hạt và cải thiện hiệu suất dẫn nhiệt khi tiếp xúc bề mặt wafer.

Chất bán dẫn VeTek sử dụng than chì SGL làm vật liệu và bề mặt được xử lý bằngLớp phủ CVD SiC, có thể chịu được NH3, HCl và không khí nhiệt độ cao trong thời gian dài. Chất nhạy cảm LED UV sâu được phủ SiC của VeTek Semiconductor phù hợp với hệ số giãn nở nhiệt của tấm wafer epiticular AlN/GaN, giúp giảm cong vênh hoặc nứt wafer do ứng suất nhiệt trong quá trình xử lý.

Quan trọng nhất, bộ cảm biến LED UV sâu được phủ SiC của VeTek Semiconductor thích ứng hoàn hảo với các thiết bị MOCVD phổ thông (bao gồm Veeco K465i, EPIK 700, Aixtron Crius, v.v.). Hỗ trợ các dịch vụ tùy chỉnh cho kích thước wafer (2~8 inch), thiết kế khe wafer, nhiệt độ xử lý và các yêu cầu khác.

Kịch bản ứng dụng:

● Chuẩn bị đèn LED UV sâu: Áp dụng cho quy trình epiticular của các thiết bị trong dải dưới 260nm (khử trùng, khử trùng UV-C và các lĩnh vực khác).

● Epitaxy bán dẫn nitrit: Được sử dụng để chuẩn bị epiticular của vật liệu bán dẫn như gallium nitride (GaN) và nhôm nitride (AlN).

● Thí nghiệm epiticular cấp độ nghiên cứu: Các thí nghiệm epitaxy UV sâu và phát triển vật liệu mới ở các trường đại học và viện nghiên cứu.

Với sự hỗ trợ của đội ngũ kỹ thuật mạnh, VeTek Semiconductor có thể phát triển các thiết bị cảm ứng với thông số kỹ thuật và chức năng độc đáo theo nhu cầu của khách hàng, hỗ trợ các quy trình sản xuất cụ thể và cung cấp dịch vụ dài hạn.

SEM DỮ LIỆU CỦA PHIM LỚP CVD SIC:

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC:

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC
Tài sản	Giá trị điển hình
Cấu trúc tinh thể	FCC đa tinh thể pha β, chủ yếu định hướng (111)
Mật độ lớp phủ SiC	3,21 g/cm³
Độ cứng lớp phủ CVD SiC	Độ cứng 2500 Vickers (tải 500g)
Kích thước hạt	2 ~ 10μm
Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
Công suất nhiệt	640 J·kg^-1·K^-1
Nhiệt độ thăng hoa	2700oC
Độ bền uốn	415 MPa RT 4 điểm
Mô-đun của Young	Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC
Độ dẫn nhiệt	300W·m^-1·K^-1
Mở rộng nhiệt (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Chất bán dẫn VeTekCửa hàng sản phẩm cảm ứng LED UV sâu được phủ SiC:

SiC coated deep UV LED susceptor Semiconductor process equipment CVD SiC Focus Ring Oxidation and Diffusion Furnace Equipment

Thẻ nóng: Thiết bị cảm ứng LED UV sâu được phủ SiC, Trung Quốc, Nhà sản xuất, Nhà cung cấp, Nhà máy, Tùy chỉnh, Mua, Nâng cao, Bền, Sản xuất tại Trung Quốc

Thẻ sản phẩm

Danh mục liên quan