Cánh tay robot xử lý wafer

Vetek Semiconductor chuyên nghiệp trong lĩnh vực cánh tay robot xử lý wafer được chế tạo bằng công nghệ phun nhiệt.

1. Công nghệ phun nhiệt có thể cải thiện hiệu quả khả năng chống mài mòn của cánh tay robot. Cánh tay robot xử lý tấm bán dẫn thường xuyên tiếp xúc với tấm bán dẫn và các thiết bị khác trong quá trình vận hành. Sự tiếp xúc và chuyển động tần số cao này có thể dễ dàng gây mòn các bộ phận cơ khí. Bằng cách phun vật liệu chống mài mòn lên bề mặt cánh tay robot, độ mòn của các bộ phận có thể giảm đáng kể, tuổi thọ của cánh tay robot có thể được kéo dài và chi phí bảo trì có thể giảm.

2. Việc cải thiện khả năng chống ăn mòn cũng là một ưu điểm đáng kể của công nghệ phun nhiệt. Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, cánh tay robot cần phải làm việc trong môi trường chứa đầy khí ăn mòn và thuốc thử hóa học. Những hóa chất này có thể ăn mòn cánh tay robot, ảnh hưởng đến hiệu suất và độ chính xác của nó. Công nghệ phun nhiệt có thể tạo thành lớp phủ chống ăn mòn dày đặc trên bề mặt cánh tay robot, ngăn chặn hiệu quả sự xâm nhập của các chất ăn mòn, từ đó đảm bảo cánh tay robot hoạt động ổn định trong môi trường khắc nghiệt.

3. Công nghệ phun nhiệt cũng có thể nâng cao độ ổn định nhiệt của cánh tay robot. Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, một số quy trình sẽ tạo ra nhiệt độ cao và cánh tay robot phải duy trì hoạt động chính xác trong môi trường nhiệt độ cao. Công nghệ phun nhiệt đảm bảo cánh tay robot không bị biến dạng hoặc xuống cấp ở nhiệt độ cao bằng cách phủ lên bề mặt cánh tay robot những vật liệu có độ ổn định nhiệt độ cao, từ đó nâng cao độ tin cậy và độ chính xác của toàn bộ dây chuyền sản xuất.

4. Việc áp dụng lớp phủ chống tĩnh điện giúp cải thiện hơn nữa hiệu suất của cánh tay robot. Tấm wafer rất nhạy cảm với tĩnh điện và sự tích tụ tĩnh điện có thể gây ô nhiễm bề mặt tấm wafer hoặc làm hỏng các thiết bị điện tử. Thông qua công nghệ phun nhiệt, một lớp phủ chống tĩnh điện có thể được hình thành trên bề mặt cánh tay robot, giúp giảm hiệu quả việc tạo ra tĩnh điện, bảo vệ tấm wafer khỏi bị hư hại do tĩnh điện và đảm bảo chất lượng và độ an toàn của sản phẩm.

5. Công nghệ phun nhiệt cũng có thể làm giảm ô nhiễm hạt của cánh tay robot trong quá trình vận hành. Trong sản xuất chất bán dẫn, bất kỳ sự nhiễm bẩn hạt nhỏ nào cũng có thể ảnh hưởng đến chất lượng của tấm bán dẫn. Bằng cách sử dụng công nghệ phun nhiệt, có thể hình thành một lớp phủ mịn và dày đặc trên bề mặt cánh tay robot, giảm sự bong tróc của các hạt, duy trì sự sạch sẽ của môi trường sản xuất và do đó cải thiện năng suất của sản phẩm.