Công nghệ phun nhiệt bán dẫn

Công nghệ phun nhiệt bán dẫn là một quy trình tiên tiến phun vật liệu ở trạng thái nóng chảy hoặc bán nóng chảy lên bề mặt chất nền để tạo thành lớp phủ. Công nghệ này được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, chủ yếu được sử dụng để tạo ra các lớp phủ có chức năng cụ thể trên bề mặt đế như dẫn điện, cách nhiệt, chống ăn mòn và chống oxy hóa. Ưu điểm chính của công nghệ phun nhiệt bao gồm hiệu suất cao, độ dày lớp phủ có thể kiểm soát và độ bám dính lớp phủ tốt, khiến nó đặc biệt quan trọng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi độ chính xác và độ tin cậy cao.

Ứng dụng công nghệ phun nhiệt trong chất bán dẫn

Khắc chùm tia plasma (khắc khô)

Thường đề cập đến việc sử dụng phóng điện phát sáng để tạo ra các hạt hoạt động plasma chứa các hạt tích điện như plasma và electron và các nguyên tử và phân tử trung tính có hoạt tính hóa học cao và các gốc tự do, khuếch tán đến bộ phận được khắc, phản ứng với vật liệu bị ăn mòn, tạo thành chất dễ bay hơi. sản phẩm và được loại bỏ, từ đó hoàn thiện công nghệ khắc chuyển mẫu. Đây là một quá trình không thể thay thế để hiện thực hóa việc chuyển giao các mẫu đẹp từ các mẫu quang khắc sang các tấm bán dẫn có độ chính xác cao trong quá trình sản xuất các mạch tích hợp quy mô cực lớn.

Một số lượng lớn các gốc tự do hoạt động như Cl và F sẽ được tạo ra. Khi khắc các thiết bị bán dẫn, chúng sẽ ăn mòn bề mặt bên trong của các bộ phận khác của thiết bị, bao gồm hợp kim nhôm và các bộ phận cấu trúc bằng gốm. Sự xói mòn mạnh này tạo ra một số lượng lớn các hạt, không chỉ đòi hỏi phải bảo trì thiết bị sản xuất thường xuyên mà còn gây ra hỏng hóc cho buồng quá trình ăn mòn và làm hỏng thiết bị trong trường hợp nghiêm trọng.

Y2O3 là vật liệu có tính chất hóa học và nhiệt rất ổn định. Điểm nóng chảy của nó cao hơn 2400oC. Nó có thể duy trì ổn định trong môi trường ăn mòn mạnh. Khả năng chống lại sự bắn phá plasma của nó có thể kéo dài đáng kể tuổi thọ của các bộ phận và giảm thiểu các hạt trong buồng ăn mòn.

Giải pháp chủ đạo là phun lớp phủ Y2O3 có độ tinh khiết cao để bảo vệ buồng ăn mòn và các bộ phận quan trọng khác.