Bộ phận cuối xử lý wafer

Bộ phận cuối xử lý tấm bán dẫn Vetek là một phần quan trọng trong quá trình xử lý chất bán dẫn, vận chuyển các tấm bán dẫn và bảo vệ bề mặt của chúng khỏi bị hư hại. VeTek Semiconductor, với tư cách là nhà sản xuất và cung cấp hàng đầu về Bộ hiệu ứng đầu cuối xử lý wafer, luôn cam kết cung cấp cho khách hàng các sản phẩm Cánh tay robot xử lý wafer tuyệt vời và các dịch vụ tốt nhất. chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn về các sản phẩm công cụ xử lý tấm bán dẫn.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Wafer Xử lý End Effector là loại tay robot được thiết kế dành riêng cho ngành bán dẫn, thường được sử dụng để xử lý và chuyển giaobánh xốp. Môi trường sản xuất tấm wafer đòi hỏi độ sạch cực cao, vì các hạt nhỏ hoặc chất gây ô nhiễm có thể khiến chip bị hỏng trong quá trình xử lý. Vật liệu gốm được sử dụng rộng rãi trong sản xuất bàn tay này do tính chất vật lý và hóa học tuyệt vời của chúng.

So với vật liệu kim loại truyền thống, ưu điểm củagốm sứtrong vật liệu chủ yếu được phản ánh ở các khía cạnh sau:

End Effector for Wafer Handling Operation Scenario

•Chống ăn mòn: Tấm wafer tiếp xúc với nhiều loại hóa chất trong quá trình sản xuất và vật liệu gốm có thể chống ăn mòn một cách hiệu quả và đảm bảo thiết bị có thể sử dụng lâu dài.

•Phát hành hạt thấp: Vì gốm sứ có khả năng giải phóng hạt cực thấp nên chúng sẽ khó tạo ra các hạt trong quá trình xử lý, do đó làm giảm nguy cơ ô nhiễm cho tấm bán dẫn.

•Chịu nhiệt độ cao tốt: Trong một số quy trình, các tấm bán dẫn cần được xử lý trong môi trường nhiệt độ cao và khả năng chịu nhiệt độ cao của rô-bốt xử lý tấm bán dẫn của vật liệu gốm cho phép chúng thích ứng với những môi trường khắc nghiệt này.

•Cách điện: Gốm sứ là chất cách điện tự nhiên, rất cần thiết cho các quá trình xử lý liên quan đến dòng điện và có thể ngăn tĩnh điện ảnh hưởng đến tấm bán dẫn.

Thiết bị xử lý wafer thông thường được làm bằng nhôm, Thuyền SiC xử lý wafer VetekSemi làm bằng SiC có nhiều ưu điểm. SiC được biết đến với độ bền cơ học tuyệt vời, độ ổn định nhiệt tuyệt vời và khả năng chống ăn mòn. Những đặc tính này làm cho nó trở thành vật liệu lý tưởng cho Cánh tay robot xử lý wafer, nơi độ sạch, độ chính xác và độ tin cậy là rất quan trọng.

Với sự phát triển không ngừng của công nghệ bán dẫn, kích thước của các tấm bán dẫn ngày càng tăng lên, điều này đặt ra những yêu cầu cao hơn đối với việc thiết kế và sản xuất Bộ phận tác động cuối xử lý bán dẫn. Trong tương lai, với sự cải tiến của công nghệ tự động hóa, độ chính xác, tốc độ và độ tin cậy của End Effector cho Xử lý wafer sẽ tiếp tục được cải thiện.

Là một trong những thiết bị cốt lõi trong sản xuất chất bán dẫn, robot xử lý wafer chiếm vị trí quan trọng trong các nhà máy bán dẫn nhờ độ sạch cao, khả năng chống ăn mòn và độ ổn định nhiệt độ cao. VeTek Semiconductor có thể cung cấp cho khách hàng các sản phẩm Hiệu ứng cuối xử lý wafer tùy chỉnh cũng như các dịch vụ trước và sau bán hàng, đồng thời rất mong nhận được sự tư vấn của bạn.

VeTekSemBộ phận cuối xử lý wafer:

Wafer Handling End Effector shops veteksemi