Chuck chân không gốm Alumina

Kẹp chân không bằng gốm Alumina là một giá đỡ wafer cho các quy trình epiticular trong xử lý chất bán dẫn. Nó là công cụ chính để ổn định các tấm bán dẫn và đảm bảo sự phát triển đồng đều của các lớp epiticular. Nó được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị epitaxy nhưMOCVDVàLPCVD.

Đầu kẹp chân không bằng gốm Alumina bán dẫn VeTek đóng một vai trò quan trọng trong các giai đoạn làm mỏng và mài wafer của sản xuất chất bán dẫn. Những giai đoạn này liên quan đến việc giảm chính xác độ dày củachất nền waferđể tăng cường khả năng tản nhiệt của chip, điều cần thiết để nâng cao hiệu quả và tuổi thọ của các thiết bị bán dẫn.

Tương thích với nhiều kích cỡ wafer: Đầu kẹp chân không bằng gốm Alumina bán dẫn VeTek được thiết kế để hỗ trợ nhiều kích cỡ wafer, bao gồm 2, 3, 4, 5, 6, 8 và 12 inch. Khả năng thích ứng này làm cho nó phù hợp với nhiều môi trường sản xuất chất bán dẫn, đảm bảo hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trên các kích cỡ tấm bán dẫn khác nhau.

Thành phần vật liệu cao cấp: Đế của Mâm cặp chân không bằng gốm Alumina được làm bằng Alumina 99,9999% siêu tinh khiết (Al₂O₃), có khả năng chống lại sự tấn công hóa học và ổn định nhiệt tuyệt vời. Bề mặt mâm cặp được làm bằng xốpcacbua silic (SiC). Vật liệu gốm xốp có cấu trúc dày đặc và đồng đều, giúp cải thiện độ bền và hiệu suất của nó.

Lợi ích củaCông nghệ gốm xốp：

Độ tinh khiết và độ bền của vật liệu: Được làm bằng Alumina nguyên chất 99,99%, Kẹp chân không bằng gốm Alumina của chúng tôi chống lại sự tấn công hóa học và mang lại độ ổn định nhiệt tuyệt vời, khiến nó trở nên lý tưởng cho các môi trường sản xuất có yêu cầu khắt khe.

Độ xốp và độ thấm khí tối ưu: Các vi lỗ phân bố đều mang lại khả năng thấm khí tuyệt vời và lực hấp phụ đồng đều, giúp vận hành trơn tru và nhất quán.

Tăng cường độ phẳng và tính song song: Đầu cặp chân không bằng gốm Alumina siêu nhỏ có độ phẳng và độ song song tuyệt vời, đảm bảo khả năng xử lý wafer chính xác và ổn định.

Khả năng dịch vụ tùy chỉnh: VeTekSemi có thể cung cấp nhiều hình dạng có thể tùy chỉnh, bao gồm hình tròn, hình vuông, hình tròn và các thiết kế khác, với độ dày từ 3MM đến 10MM. Việc tùy chỉnh này đảm bảo rằng mâm cặp chân không bằng gốm alumina của chúng tôi đáp ứng nhu cầu cụ thể của các quy trình sản xuất chất bán dẫn khác nhau và chắc chắn là lựa chọn lý tưởng của bạn.

Chất bán dẫn VeTekcam kết cung cấp các giải pháp sản phẩm và công nghệ tiên tiến cho ngành bán dẫn và chúng tôi chân thành hy vọng sẽ trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

cácCông thức hóa học củagốm sứ alumina：

Chất bán dẫn VeTekCửa hàng kẹp chân không bằng gốm Alumina: