VeTek Semiconductor là đối tác sáng tạo của bạn trong lĩnh vực xử lý chất bán dẫn. Với danh mục phong phú gồm các tổ hợp vật liệu Gốm sứ Silicon Carbide cấp bán dẫn, khả năng sản xuất linh kiện và dịch vụ kỹ thuật ứng dụng, chúng tôi có thể giúp bạn vượt qua những thách thức đáng kể. Kỹ thuật kỹ thuật Gốm sứ cacbua silic được ứng dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn do hiệu suất vật liệu đặc biệt của chúng. Gốm sứ cacbua silic siêu tinh khiết của VeTek Semiconductor thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất và xử lý chất bán dẫn.
VeTek Semiconductor cung cấp các thành phần gốm kỹ thuật được thiết kế đặc biệt cho các yêu cầu khuếch tán hàng loạt và LPCVD, bao gồm:
• Vách ngăn & giá đỡ
• Kim phun
• Ống lót & ống xử lý
• Mái chèo đúc hẫng bằng cacbua silic
• Thuyền wafer và bệ
Mái chèo đúc hẫng SiC Ống xử lý SiC Ống xử lý cacbua silic Thuyền wafer dọc SiC Thuyền wafer ngang SiC Thuyền wafer hình vuông SiC Thuyền wafer SiC LPCVD Thuyền tấm ngang SiC Thuyền wafer tròn SiC
Giảm thiểu ô nhiễm và bảo trì đột xuất với các thành phần có độ tinh khiết cao được thiết kế cho quá trình xử lý khắc plasma khắc nghiệt, bao gồm:
Vòng lấy nét
Vòi phun
Khiên
Đầu vòi hoa sen
Cửa sổ / Nắp
Các thành phần tùy chỉnh khác
VeTek Semiconductor cung cấp các thành phần vật liệu tiên tiến được thiết kế riêng cho các ứng dụng xử lý nhiệt ở nhiệt độ cao trong ngành bán dẫn. Các ứng dụng này bao gồm các quá trình RTP, Epi, khuếch tán, oxy hóa và ủ. Gốm sứ kỹ thuật của chúng tôi được thiết kế để chịu được các cú sốc nhiệt, mang lại hiệu suất ổn định và đáng tin cậy. Với các thành phần của VeTek Semiconductor, các nhà sản xuất chất bán dẫn có thể đạt được quy trình xử lý nhiệt hiệu quả và chất lượng cao, góp phần vào thành công chung của ngành sản xuất chất bán dẫn.
• Máy khuếch tán
• Chất cách điện
• Chất nhạy cảm
• Các thành phần nhiệt tùy chỉnh khác
Tính chất vật lý của cacbua silic kết tinh | |
Tài sản | Giá trị điển hình |
Nhiệt độ làm việc (° C) | 1600°C (có oxy), 1700°C (môi trường khử) |
Nội dung SiC/SiC | > 99,96% |
Hàm lượng Si/Si tự do | < 0,1% |
Mật độ lớn | 2,60-2,70 g/cm3 |
Độ rỗng rõ ràng | < 16% |
Cường độ nén | > 600 MPa |
Độ bền uốn nguội | 80-90 MPa (20°C) |
Độ bền uốn nóng | 90-100 MPa (1400°C) |
Giãn nở nhiệt @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Độ dẫn nhiệt @1200°C | 23 W/m·K |
Mô đun đàn hồi | 240 GPa |
Nhiệt kháng sốc | Cực kỳ tốt |
Là nhà sản xuất và cung cấp Bệ & Thuyền wafer cột dọc chuyên nghiệp tại Trung Quốc, Thuyền & Bệ wafer cột dọc của Vetek Semiconductor được làm bằng vật liệu thạch anh hoặc gốm carbon silicon (SiC) có độ tinh khiết cao, có khả năng chịu nhiệt độ cao, ổn định hóa học và độ bền cơ học tuyệt vời , và là thành phần cốt lõi không thể thiếu trong quá trình sản xuất chất bán dẫn. Chào mừng bạn đến tư vấn thêm.
Đọc thêmGửi yêu cầuThuyền wafer liền kề bán dẫn Vetek là một thiết bị tiên tiến để xử lý chất bán dẫn. Cấu trúc sản phẩm của Thuyền bán dẫn liền kề được thiết kế cẩn thận để đảm bảo xử lý và sản xuất hiệu quả các tấm bán dẫn chính xác. Vetek Semiconductor cam kết cung cấp các giải pháp công nghệ và sản phẩm xuất sắc cho ngành bán dẫn. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất chuyên nghiệp của Trung Quốc về tấm wafer cách điện bằng silicon, đế hành tinh ALD và đế than chì phủ TaC. Tấm silicon cách điện của VeTek Semiconductor là vật liệu nền bán dẫn quan trọng và các đặc tính sản phẩm tuyệt vời của nó khiến nó đóng vai trò quan trọng trong các ứng dụng RF hiệu suất cao, năng lượng thấp, tích hợp cao và RF. Chúng tôi mong muốn được hợp tác hơn nữa với bạn.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cung cấp chuyên nghiệp vòng dẫn hướng được phủ TaC, chất mang wafer SiC nằm ngang và bộ phận cảm ứng được phủ SiC tại Trung Quốc. Chúng tôi cam kết cung cấp hỗ trợ kỹ thuật hoàn hảo và các giải pháp sản phẩm tối ưu cho ngành bán dẫn. Chào mừng bạn đến liên hệ với chúng tôi.
Đọc thêmGửi yêu cầuThuyền wafer SiC của VeTek Semiconductor là một sản phẩm có hiệu suất rất cao. Thuyền wafer SiC của chúng tôi thường được sử dụng trong lò khuếch tán oxy hóa bán dẫn để đảm bảo nhiệt độ được phân bố đều trên wafer và cải thiện chất lượng xử lý wafer silicon. Độ ổn định nhiệt độ cao và độ dẫn nhiệt cao của vật liệu SiC đảm bảo quá trình xử lý chất bán dẫn hiệu quả và đáng tin cậy. Chúng tôi cam kết cung cấp sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh và mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor cung cấp Ống xử lý SiC hiệu suất cao cho sản xuất chất bán dẫn. Ống xử lý SiC của chúng tôi vượt trội trong quá trình oxy hóa, khuếch tán. Với chất lượng vượt trội và sự khéo léo, những ống này mang lại sự ổn định ở nhiệt độ cao và độ dẫn nhiệt để xử lý chất bán dẫn hiệu quả. Chúng tôi cung cấp giá cả cạnh tranh và mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầu