VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cung cấp vòng lấy nét CVD SiC hàng đầu trong nước, chuyên cung cấp các giải pháp sản phẩm hiệu suất cao, độ tin cậy cao cho ngành bán dẫn. Vòng lấy nét CVD SiC của VeTek Semiconductor sử dụng công nghệ lắng đọng hơi hóa học (CVD) tiên tiến, có khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn và dẫn nhiệt tuyệt vời, đồng thời được sử dụng rộng rãi trong các quy trình in thạch bản bán dẫn. Yêu cầu của bạn luôn được chào đón.
Là nền tảng của các thiết bị điện tử và công nghệ thông tin hiện đại, công nghệ bán dẫn đã trở thành một phần không thể thiếu trong xã hội ngày nay. Từ điện thoại thông minh đến máy tính, thiết bị liên lạc, thiết bị y tế và pin mặt trời, hầu hết tất cả các công nghệ hiện đại đều dựa vào việc sản xuất và ứng dụng các thiết bị bán dẫn.
Khi yêu cầu về tích hợp chức năng và hiệu suất của các thiết bị điện tử tiếp tục tăng lên, công nghệ xử lý chất bán dẫn cũng không ngừng phát triển và cải tiến. Là mắt xích cốt lõi trong công nghệ bán dẫn, quá trình ăn mòn quyết định trực tiếp đến cấu trúc và đặc tính của thiết bị.
Quá trình khắc được sử dụng để loại bỏ hoặc điều chỉnh chính xác vật liệu trên bề mặt chất bán dẫn để tạo thành cấu trúc và kiểu mạch mong muốn. Những cấu trúc này xác định hiệu suất và chức năng của các thiết bị bán dẫn. Quá trình khắc có thể đạt được độ chính xác ở cấp độ nanomet, là cơ sở để sản xuất các mạch tích hợp (IC) mật độ cao, hiệu suất cao.
Vòng lấy nét CVD SiC là thành phần cốt lõi trong khắc khô, chủ yếu được sử dụng để tập trung plasma nhằm làm cho nó có mật độ và năng lượng cao hơn trên bề mặt wafer. Nó có chức năng phân phối khí đều. VeTek Semiconductor phát triển SiC từng lớp một thông qua quy trình CVD và cuối cùng thu được Vòng lấy nét CVD SiC. Vòng lấy nét CVD SiC đã được chuẩn bị sẵn có thể đáp ứng hoàn hảo các yêu cầu của quá trình khắc.
Vòng lấy nét CVD SiC có tính chất cơ học, tính chất hóa học, tính dẫn nhiệt, chịu nhiệt độ cao, khả năng chống ăn mòn ion, v.v.
● Mật độ cao làm giảm khối lượng khắc
● Khoảng cách dải tần cao và khả năng cách nhiệt tuyệt vời
● Độ dẫn nhiệt cao, hệ số giãn nở thấp và khả năng chống sốc nhiệt
● Độ đàn hồi cao và khả năng chống va đập cơ học tốt
● Độ cứng cao, chống mài mòn và chống ăn mòn
Chất bán dẫn VeTekcó khả năng xử lý Vòng lấy nét CVD SiC hàng đầu tại Trung Quốc. Trong khi đó, đội ngũ kỹ thuật và đội ngũ bán hàng trưởng thành của VeTek Semiconductor giúp chúng tôi cung cấp cho khách hàng những sản phẩm vòng lấy nét phù hợp nhất. Chọn chất bán dẫn VeTek có nghĩa là hợp tác với một công ty cam kết vượt qua ranh giới củaCacbua silic CVD sự đổi mới.
Với sự nhấn mạnh vào chất lượng, hiệu suất và sự hài lòng của khách hàng, chúng tôi cung cấp các sản phẩm không chỉ đáp ứng mà còn vượt quá nhu cầu khắt khe của ngành bán dẫn. Hãy để chúng tôi giúp bạn đạt được hiệu quả, độ tin cậy và thành công cao hơn trong hoạt động của mình bằng các giải pháp cacbua silic CVD tiên tiến của chúng tôi.
Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC
Tài sản
Giá trị điển hình
Cấu trúc tinh thể
FCC đa tinh thể pha β, chủ yếu định hướng (111)
Mật độ lớp phủ SiC
3,21 g/cm³
Độ cứng lớp phủ SiC
Độ cứng 2500 Vickers (tải 500g)
kích thước hạt
2 ~ 10μm
Độ tinh khiết hóa học
99,99995%
Công suất nhiệt
640 J·kg-1·K-1
Nhiệt độ thăng hoa
2700oC
Độ bền uốn
415 MPa RT 4 điểm
Mô-đun của Young
Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC
Độ dẫn nhiệt
300W·m-1·K-1
Mở rộng nhiệt (CTE)
4,5×10-6K-1