Vòi phun phủ CVD SiC

Đầu phun phủ CVD SiC của Vetek Semiconductor là thành phần quan trọng được sử dụng trong quy trình epit Wax LPE SiC để lắng đọng vật liệu cacbua silic trong quá trình sản xuất chất bán dẫn. Những vòi phun này thường được làm bằng vật liệu cacbua silic ổn định về mặt hóa học và nhiệt độ cao để đảm bảo sự ổn định trong môi trường xử lý khắc nghiệt. Được thiết kế để lắng đọng đồng đều, chúng đóng vai trò quan trọng trong việc kiểm soát chất lượng và tính đồng nhất của các lớp epiticular được trồng trong các ứng dụng bán dẫn. Mong muốn được hợp tác lâu dài với bạn.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

VeTek Semiconductor là nhà sản xuất chuyên biệt các phụ kiện phủ CVD SiC cho các thiết bị epiticular như các bộ phận hình bán nguyệt được phủ CVD SiC và các phụ kiện của nó là Vòi phun phủ CVD SiC. Chào mừng bạn đến hỏi chúng tôi.

PE1O8 là hệ thống hộp mực đến hộp mực hoàn toàn tự động được thiết kế để xử lý các tấm SiC lên đến 200mm. Định dạng có thể được chuyển đổi giữa 150 và 200 mm, giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động của dụng cụ. Việc giảm các giai đoạn gia nhiệt giúp tăng năng suất, đồng thời tự động hóa giúp giảm lao động và cải thiện chất lượng cũng như độ lặp lại. Để đảm bảo quy trình epitaxy hiệu quả và cạnh tranh về chi phí, ba yếu tố chính được báo cáo: 1) quy trình nhanh, 2) độ dày và độ pha tạp có độ đồng đều cao và 3) giảm thiểu sự hình thành khuyết tật trong quá trình epitaxy. Trong PE1O8, khối lượng than chì nhỏ và hệ thống nạp/dỡ tự động cho phép hoàn thành quá trình chạy tiêu chuẩn trong vòng chưa đầy 75 phút (công thức điốt Schottky 10μm tiêu chuẩn sử dụng tốc độ tăng trưởng 30μm/h). Hệ thống tự động cho phép xếp/dỡ hàng ở nhiệt độ cao. Kết quả là thời gian làm nóng và làm nguội ngắn, trong khi bước nướng bánh bị ức chế. Điều kiện lý tưởng này cho phép sự phát triển của vật liệu không pha tạp thực sự.

Trong quá trình epitaxy cacbua silic, Đầu phun phủ CVD SiC đóng một vai trò quan trọng trong sự phát triển và chất lượng của các lớp epiticular. Dưới đây là phần giải thích mở rộng về vai trò của vòi phun trong quá trình epitaxy cacbua silic:

Cung cấp và kiểm soát khí: Vòi phun được sử dụng để cung cấp hỗn hợp khí cần thiết trong quá trình epitaxy, bao gồm khí nguồn silicon và khí nguồn carbon. Thông qua các vòi phun, lưu lượng khí và tỷ lệ có thể được kiểm soát chính xác để đảm bảo sự phát triển đồng đều của lớp epitaxy và thành phần hóa học mong muốn.

Kiểm soát nhiệt độ: Vòi phun cũng giúp kiểm soát nhiệt độ bên trong lò phản ứng epitaxy. Trong epitaxy cacbua silic, nhiệt độ là yếu tố quan trọng ảnh hưởng đến tốc độ tăng trưởng và chất lượng tinh thể. Bằng cách cung cấp nhiệt hoặc khí làm mát thông qua các vòi phun, nhiệt độ tăng trưởng của lớp epitaxy có thể được điều chỉnh để có điều kiện tăng trưởng tối ưu.

Phân phối dòng khí: Thiết kế của vòi phun ảnh hưởng đến sự phân phối khí đồng đều trong lò phản ứng. Phân phối dòng khí đồng đều đảm bảo tính đồng nhất của lớp epiticular và độ dày nhất quán, tránh các vấn đề liên quan đến chất lượng vật liệu không đồng đều.

Ngăn ngừa ô nhiễm tạp chất: Thiết kế và sử dụng vòi phun phù hợp có thể giúp ngăn ngừa ô nhiễm tạp chất trong quá trình epitaxy. Thiết kế vòi phun phù hợp giảm thiểu khả năng tạp chất bên ngoài lọt vào lò phản ứng, đảm bảo độ tinh khiết và chất lượng của lớp epitaxy.

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC:

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC
Tài sản	Giá trị điển hình
Cấu trúc tinh thể	FCC đa tinh thể pha β, chủ yếu định hướng (111)
Tỉ trọng	3,21 g/cm³
độ cứng	Độ cứng 2500 Vickers (tải 500g)
kích thước hạt	2 ~ 10μm
Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
Công suất nhiệt	640 J·kg-1·K-1
Nhiệt độ thăng hoa	2700oC
Độ bền uốn	415 MPa RT 4 điểm
Mô-đun của Young	Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC
Độ dẫn nhiệt	300W·m-1·K-1
Mở rộng nhiệt (CTE)	4,5×10-6K-1