Nguyên lý và công nghệ phủ lắng đọng hơi vật lý (1/2) - VeTek Semiconductor

Quá trình vật lý củasơn chân không

Về cơ bản, lớp phủ chân không có thể được chia thành ba quá trình: "bay hơi vật liệu màng", "vận chuyển chân không" và "tăng trưởng màng mỏng". Trong lớp phủ chân không, nếu vật liệu màng là chất rắn thì phải thực hiện các biện pháp để làm bay hơi hoặc thăng hoa vật liệu màng rắn thành khí, sau đó các hạt vật liệu màng bay hơi được vận chuyển trong chân không. Trong quá trình vận chuyển, các hạt có thể không gặp va chạm và tiếp cận trực tiếp với chất nền hoặc chúng có thể va chạm trong không gian và chạm tới bề mặt chất nền sau khi tán xạ. Cuối cùng, các hạt ngưng tụ trên bề mặt và phát triển thành một màng mỏng. Do đó, quá trình phủ liên quan đến sự bay hơi hoặc thăng hoa của vật liệu màng, vận chuyển các nguyên tử khí trong chân không và sự hấp phụ, khuếch tán, tạo mầm và giải hấp của các nguyên tử khí trên bề mặt rắn.

Phân loại lớp phủ chân không

Theo các cách khác nhau mà vật liệu màng thay đổi từ rắn sang khí và các quá trình vận chuyển khác nhau của các nguyên tử vật liệu màng trong chân không, lớp phủ chân không về cơ bản có thể được chia thành bốn loại: bay hơi chân không, phún xạ chân không, mạ ion chân không, và lắng đọng hơi hóa chất chân không. Ba phương pháp đầu tiên được gọilắng đọng hơi vật lý (PVD), và cái sau được gọi làlắng đọng hơi hóa học (CVD).

Lớp phủ bay hơi chân không

Lớp phủ bay hơi chân không là một trong những công nghệ sơn chân không lâu đời nhất. Năm 1887, R. Nahrwold báo cáo việc chế tạo màng bạch kim bằng cách thăng hoa bạch kim trong chân không, được coi là nguồn gốc của lớp phủ bay hơi. Hiện nay, lớp phủ bay hơi đã phát triển từ lớp phủ bay hơi điện trở ban đầu sang các công nghệ khác nhau như lớp phủ bay hơi chùm tia điện tử, lớp phủ bay hơi gia nhiệt cảm ứng và lớp phủ bay hơi xung laser.

sưởi ấm điện trởlớp phủ bay hơi chân không

Nguồn bay hơi điện trở là một thiết bị sử dụng năng lượng điện để làm nóng trực tiếp hoặc gián tiếp vật liệu màng. Nguồn bay hơi điện trở thường được làm bằng kim loại, oxit hoặc nitrit có nhiệt độ nóng chảy cao, áp suất hơi thấp, ổn định hóa học và cơ học tốt, chẳng hạn như vonfram, molypden, tantalum, than chì có độ tinh khiết cao, gốm oxit nhôm, gốm boron nitrit và các vật liệu khác . Hình dạng của các nguồn bay hơi điện trở chủ yếu bao gồm nguồn dây tóc, nguồn lá và nồi nấu kim loại.

Khi sử dụng, đối với nguồn dây tóc và nguồn lá mỏng, chỉ cần cố định hai đầu của nguồn bay hơi vào các cực đầu cuối bằng đai ốc. Nồi nấu kim loại thường được đặt trong một dây xoắn ốc, và dây xoắn ốc được cung cấp năng lượng để làm nóng nồi nấu kim loại, sau đó nồi nấu kim loại truyền nhiệt cho vật liệu màng.

VeTek Semiconductor là nhà sản xuất chuyên nghiệp của Trung Quốc vềLớp phủ cacbua tantali, Lớp phủ silicon cacbua, Than chì đặc biệt, Gốm sứ cacbua silicVàGốm sứ bán dẫn khác.VeTek Semiconductor cam kết cung cấp các giải pháp tiên tiến cho các sản phẩm Lớp phủ khác nhau cho ngành bán dẫn.

Nếu bạn có bất kỳ thắc mắc hoặc cần thêm chi tiết, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

Email: anny@veteksemi.com